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OAI品牌 659  紫外光能量计

OAI品牌 659 紫外光能量计

更新时间:2021-05-07

访问量:148

厂商性质:经销商

城市:北京市

简要描述:
OAI品牌 659 紫外光能量计——适用于所有晶圆步进机
在过去的45年里,OAI一直是紫外光和能量测量仪器的世界创造者,用于半导体、EMS、圆封装和晶圆凸点等行业的光刻工艺的可靠准确校准控制。新型号659是一种新的紫外曝光分析仪,专门设计用于包括高强度晶圆步进机在内的所有晶片步进机。
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域化工,石油,电子

OAI品牌 659  紫外光能量计

       OAI品牌 659  紫外光能量计——适用于所有晶圆步进机
在过去的45年里,OAI一直是紫外光和能量测量仪器的世界创造者,用于半导体、EMS、圆封装和晶圆凸点等行业的光刻工艺的可靠准确校准控制。新型号659是一种新的紫外曝光分析仪,专门设计用于包括高强度晶圆步进机在内的所有晶片步进机。该仪器的平均曝光读数高达400,具有以太网和USB接口,可下载记录的测量值,强度范围高达7500MW/cm2。探针的波长有365nm、400nm、420nm和436nm可选。OAI拥有一个完整的认证校准实验室,以维护我们仪表的性能、质量和可靠性。659型仪表可追溯至NIST标准。
规格
用户界面:触摸屏
计算机接口:可选以太网和USB下载记录
测量
电源:电池采用充电保护的3.7V锂离子充电
充电器电源:100-240 VAC
显示设置:2个屏幕
1.设置屏幕:以太网地址、日期和时间
2.运行屏幕:波长、强度、时间、剂量、探针温度、探针类型、偏差百分比、序列号、校准到期日、电池状态、探针序列号和充电器状态。
内存存储:高达400条读取
强度范围:高达7500mw/cm2
强度分辨率:0.01mW/cm2
剂量范围:高达1000 J/cm3
剂量分辨率:0.01mJ/cm3
时间范围:高达9999秒
时间分辨率:0.0001秒,*小剂量暴露25米秒
尺寸:14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸
重量:3.5磅
工作环境:15–40度
符合:ROHS2和CE(EMC和安全)
探头规格
选项:非补偿温度探头
探头检测器:硅光电二极管
可用波长(nm)365、400、420、436
过滤器:多层吸收/介质
强度范围:高达7500MW/cm2
互换性:任何型号的659探针都可以与659仪表一起使用
符合性:ROHS2和CE(EMC和安全)

注:报价仅为主机报价,探头可从上面4个中(365、400、420、436nm)选择并单独购买,还需提供步进机型号。
      6XX系列替换了之前的3XX和4XX系列,3XX和4XX系列于2020年12月停产。

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